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PFA 硅片清洗花篮（晶圆卡匣）

关键词：

产品分类：

半导体

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一、基础信息

产品名称：PFA 硅片清洗花篮 / PFA 晶圆卡匣 / 特氟龙晶舟

材质：高纯 PFA（可溶性聚四氟乙烯）

颜色：半透乳白色（高纯电子级）

使用温度：-200℃ ～ +260℃（连续≤220℃）

耐化学性：耐 HF、HCl、H₂SO₄、NaOH、氨水、有机溶剂等

洁净等级：电子级（金属溶出＜0.01ppb）

结构形式：槽式插片、一体成型、底部镂空（可选）、带 / 不带提手

适用场景：半导体湿法清洗、刻蚀、RCA 清洗、太阳能硅片制绒 / 清洗、玻璃基片清洗

二、分规格详细参数（2″～12″）

2 英寸（50mm）PFA 花篮

型号：PF-C050

外形尺寸（L×W×H）：140×69×60mm

内槽容量：25 片

槽间距：4.76 mm（0.1875″）

槽宽：1.1 mm（适配硅片厚度 0.5～0.7 mm）

适用硅片：Ø50 mm，厚度 0.5/0.55/0.6/0.7 mm

重量：约 180 g

可选配置：活动提手、单梁 / 双梁、底部镂空、带定位豆

含税价：450

2.5 英寸（63mm）PFA 花篮

型号：PF-C063

外形尺寸（L×W×H）：142×79×73mm

内槽容量：25 片

槽间距：4.76 mm

槽宽：1.1 mm

适用硅片：Ø63 mm，厚度 0.5～0.7 mm

重量：约 210 g

可选配置：同 2 英寸

含税价：500

3 英寸（75mm）PFA 花篮

型号：PF-C075

外形尺寸（L×W×H）：142× 94× 83mm

内槽容量：25 片

槽间距：4.76 mm

槽宽：1.1 mm

适用硅片：Ø75 mm，厚度 0.5～0.7 mm

重量：约 250 g

可选配置：同 2 英寸

含税价：600

4 英寸（100mm）PFA 花篮

型号：PF-C100（标准） / PF-C100-H（镂空）

外形尺寸（L×W×H）：142×124×115mm

内槽容量：25 片（标准）/ 25 片（镂空）

槽间距：4.76 mm（标准）/ 6.0 mm（可选）

槽宽：1.1 mm（标准）/ 1.5 mm（厚片定制）

适用硅片：Ø100 mm，厚度 0.5/0.6/0.7/1.0 mm

重量：标准约 320 g；镂空约 280 g

可选配置：活动提手（标配）、双梁加固、底部全镂空 / 半镂空、防静电 PFA

含税价：1050

5 英寸（125mm）PFA 花篮

型号：PF-C125

外形尺寸（L×W×H）：154×142×146mm

内槽容量：25 片

槽间距：4.76 mm

槽宽：1.1 mm

适用硅片：Ø125 mm，厚度 0.6～0.8 mm

重量：约 450 g

可选配置：同 4 英寸

含税价：1650

6 英寸（150mm）PFA 花篮

型号：PF-C150

外形尺寸（L×W×H）：180×170×165mm（行业通用）

内槽容量：25 片（标准）/ 50 片（加长定制）

槽间距：6.35 mm（0.25″，标准）/ 4.76 mm（密槽）

槽宽：1.2 mm（标准）/ 1.5 mm（厚片）

适用硅片：Ø150 mm，厚度 0.65/0.7/0.75/1.0 mm

重量：标准约 680 g；镂空约 600 g

可选配置：高强度提手、双梁、镂空底、导流槽、防静电

含税价：1950

8 英寸（200mm）PFA 花篮

型号：PF-C200

外形尺寸（L×W×H）：203×233×219mm

内槽容量：25 片（标准）

槽间距：6.35 mm

槽宽：1.5 mm（适配 8 寸标准厚片）

适用硅片：Ø200 mm，厚度 0.725/0.75/1.0 mm

重量：约 2170 g

可选配置：重型提手、加固横梁、全镂空、耐高温改性 PFA

含税价：2550

12 英寸（300mm）PFA 花篮

型号：PF-C300

外形尺寸（L×W×H）：285×320×280mm（行业通用）

内槽容量：25 片（标准）

槽间距：8.0 mm

槽宽：1.8 mm

适用硅片：Ø300 mm，厚度 0.775/1.0/1.2 mm

重量：约 4500 g

可选配置：洁净室专用提手、防静电、底部加强筋、定制导流结构

含税价：17400