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全自动3轴半导体酸洗清洗机

全自动半导体超声波清洗机

关键词:

半导体丨清洗干燥

产品分类:

参数类别

参数名称

全自动半导体超声波清洗机

型号

SYK-1040CQB

数量

1

核心性能

用途

芯片零件清洗干燥

清洗方式

超声波清洗(底面发振)+ 高频脉冲清洗 热风循环干燥

清洗节拍

3-6min / 框(可调)

篮筐尺寸

17955L×W×H mm

内槽尺寸

1912200L×W×H mm

占地面积

2001501800L×W×H mm

工艺参数

清洗介质

氢氟酸、硝酸、丙酮、酒精、纯水

洗工作温

55±4℃

超声波参数

功率 1500W,频率 40KHz

过滤形式

加热功率

3KW

干燥介质

热风

工作温

60-70℃

能源需求

加热功率

9KW

供电方式

三相五线制,380V±10%50Hz±1%

装机功率

15KW

平均用电

5KW

压缩空气用

0.1 m³/min

纯化水流量

按需方实际流量

环境要求

工作环境温度

夏季≤35℃,冬季≥10℃

湿度

≤85%

噪声

≤80dB(封闭式腔室 隔音措施)

保护功能

过载 / 过流保护

升降传动系统

动力来源

3轴模组

导轨类型

耐腐蚀免维护

承载能力

工件托架5kg

安全装置

伺服电机(带刹车)

电气控制系统

主控系统

德国西门子-S7200

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