主要产品包括喷淋清洗机、超声波清洗机、碳氢清洗机等各种清洗设备！
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参数类别 | 参数名称 | 全自动半导体部件清洗机 |
型号 | SYK-4024CGH | |
数量 | 1 台 | |
核心性能 | 用途 | 靶材部件清洗干燥 |
清洗方式 | 酸洗+中和漂洗＋QDR槽 | |
清洗节拍 | 3-6min / 框（可调） | |
篮筐尺寸 | 700×700×200（L×W×H mm） | |
内槽尺寸 | 800×800×400（L×W×H mm） | |
占地面积 | 6400×2700×2200（L×W×H mm） | |
工艺参数 | 清洗介质 | 硫酸、纯水 |
清洗工作温 | RT | |
超声波参数 | 无 | |
过滤形式 | 无 | |
水加热功率 | 无 | |
干燥介质 | 无 | |
工作温 | 无 | |
能源需求 | 热风加热功率 | 无 |
供电方式 | 三相五线制，380V±10%，50Hz±1% | |
装机功率 | 35KW | |
平均用电 | 15KW | |
压缩空气用 | 0.6m³/min | |
纯化水流量 | 按需方实际流量 | |
环境要求 | 工作环境温度 | 夏季≤35℃，冬季≥10℃ |
湿度 | ≤85% | |
噪声 | ≤80dB（封闭式腔室 + 隔音措施） | |
保护功能 | 过载 / 过流保护 | |
升降传动系统 | 动力来源 | 1套机械模组 |
导轨类型 | 耐腐蚀免维护 | |
承载能力 | 机械臂≥55kg | |
安全装置 | 伺服电机（带刹车） | |
电气控制系统 | 主控系统 | 德国西门子-S7200 |
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